АО НИИТМ и АО «НИИМЭ» (ГК «Элемент») в партнерстве с ООО «САВТЭК» в рамках программы «Развитие электронного машиностроения» приступили к разработке нового вида оборудования – установки для высокотемпературной активации примеси. Проект реализовывается при поддержке Минпромторга России. Данные установки применяются в производстве полупроводниковых изделий на основе карбида кремния: например, диодов Шоттки, радиационно-стойких транзисторов и других приборов. Сегодня эти изделия называют настоящим и будущем силовой электроники благодаря их выдающимся динамическим характеристикам, высокой рабочей температуре и сверхнизкой потери проводимости.
Разрабатываемое оборудование обеспечивает термическую обработку или, другими словами, отжиг пластин для активации легирующей примеси после ионной имплантации и является важной составляющей технологической линейки для создания изделий на основе SiС (карбида кремния).
Установка предназначена для обработки пластин диаметром 100 и 150 мм без переналадки. В настоящее время подавляющее большинство ключевых поставщиков силовых полупроводниковых приборов на основе карбида кремния во всем мире используют пластины подобного диаметра. Только несколько лет назад ряд производителей в Европе и Азии начали переходить со 150-миллиметровых на 200-миллиметровые пластины.
Еще одной важной особенностью разрабатываемого специального технологического оборудования является вертикальная ориентация диффузионной печи с автоматической загрузкой пластин. Вертикальная конструкция позволяет равномерно распределять температуру и эффективно подавать газ, обеспечивая точные и стабильные результаты. Другим важным преимуществом вертикальных печей является сокращение занимаемой площади чистых производственных помещений. Автоматизированная система загрузки пластин снижает привносимую дефектность, количество ошибок, связанных с человеческим фактором, и увеличивает производительность установки.
Отечественная разработка позволит не только создать оборудование, отвечающее текущим стандартам индустрии, но и обеспечить серьезный научно-технический задел для последующего производства вертикальных печей для пластин диаметром 200 мм и 300 мм.
До конца 2025 года будут подготовлены макеты основных частей установки: реактора для отжига и транспортной системы. После чего будет проведено их испытание, и команда ученых и инженеров приступят к разработке и сборке опытных образцов оборудования.
