|
НИИ точного машиностроения специализируется на разработке, изготовлении и поставкам следующих видов
технологического оборудования, отвечающего современным требованиям в области
технических характеристик, эргономики и дизайна:
- вакуумного оборудования
для технологических процессов нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, газофазного осаждения стимулированного плазмой (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition – PE CVD);
- физико-термического оборудования
для осуществления процессов диффузии, окисления, эпитаксии и отжига, в том числе быстрого термического; - элементной базы технологического оборудования.
При
необходимости оборудование,
разрабатываемое ОАО НИИТМ может
дорабатываться по ТЗ Заказчика с учётом
особенностей технологических процессов, используемых на данном
предприятии. Кроме
того, разрабатываемое оборудование может
дооснащаться аналитическими
приборами, типа акустооптического спектрометра для анализа состава и
характеристик плазменных сред, спектрометра для фиксации и контроля
определённых спектральных линий, приборами для измерения скоростей травления и
осаждения слоёв, фотометрическими
cпектроэллипсометрами для измерения характеристик и анализа
состояния поверхности и структуры тонких поверхностных слоев и пленок и т.д.
Также НИИ точного машиностроения производит модернизацию, восстановление и сервисное обслуживание ранее разработанного оборудования, переоснащение его современными функциональными системами.
Приоритетное направление деятельности НИИТМ – создание оборудования для реализации технологических процессов в микро-, нано-, радиоэлектронике, микромеханике, для синтеза наноматериалов. Предприятие разрабатывает и изготавливает экспериментальное и опытно-промышленное оборудование для микроэлектронного производства, научных исследований и технического обучения.
Проектирование в НИИТМ выполняется с использованием высокопроизводительной компьютерной техники и современного программного обеспечения - лицензионной системой автоматизированного проектирования SolidWorks, а так же системой SWR-PDM, что позволяет управлять инженерными данными, документооборотом, вести электронный архив. Сборка и испытание оборудование, а также отработка технологических процессов производится в чистых помещениях экспериментально-технологического участка. |