|
НИИ точного машиностроения специализируется на разработке и изготовлении:
- вакуумного оборудования
для технологических процессов нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, газофазного осаждения стимулированного плазмой (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition – PE CVD);
- физико-термического оборудования
для осуществления процессов диффузии, окисления, эпитаксии и отжига, в том числе быстрого термического; - элементной базы технологического оборудования.
Также НИИ точного машиностроения производит модернизацию, восстановление и сервисное обслуживание оборудования, переоснащение его современными функциональными системами.
Приоритетное направление деятельности НИИТМ – создание оборудования для реализации технологических процессов в микро-, нано-, радиоэлектронике, микромеханике, для синтеза наноматериалов. Предприятие разрабатывает и изготавливает экспериментальное и опытно-промышленное оборудование для микроэлектронного производства, научных исследований и технического обучения.
Проектирование в НИИТМ выполняется с использованием высокопроизводительной компьютерной техники и современного программного обеспечения - лицензионной системой автоматизированного проектирования SolidWorks, а так же системой SWR-PDM, что позволяет управлять инженерными данными, документооборотом, вести электронный архив. Сборка и испытание оборудование, а также отработка технологических процессов производится в чистых помещениях экспериментально-технологического участка. |