ПРОЦЕССНАЯ КАРТА ОБОРУДОВАНИЯ
ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
Нанесение пленок
Сухая обработка поверхности в плазме ВЧ разряда
Осаждение пленок из газовой среды в плазме ВЧ разряда
ФИЗИКО-ТЕРМИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
Выращивание монокристаллических структур (эпитаксия)