Диаметр пластин
До 100 мм, 150 мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Плазмохимическое удаление фоторезиста и очистка органических примесей на пластинах, а также стерилизация медицинских, в том числе термолабильных инструментов.
Диаметр пластин
До 100 мм, 150 мм, 200 мм
Тип загрузки пластин
Шлюзовая
Многослойное нанесение пленок металлов и резистивных материалов на подложки (пластины) методом магнетронного распыления
Диаметр пластин
До 100 мм, 150 мм, 200 мм
Тип загрузки пластин
Шлюзовая
Двустороннее нанесение многокомпонентных и многослойных тонких пленок металлов и диэлектриков на подложки (пластины) методом магнетронного распыления
Диаметр пластин
До 100 мм, 150 мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Нанесение пленок металлов, резистиных материалов и диэлектриков на подложки (пластины) методом магнетронного напыления и термического испарения
Разработан при поддержке
Минпромторга России,
совместно с АО «НИИМЭ»
совместно с АО «НИИМЭ»
Диаметр пластин
200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
FOUP-контейнер, SMIF-контейнер
Промышленно-ориентированный технологический комплекс
плазмохимического осаждения (ПХО) для технологий уровня 65/45/28 нм
Выполнен совместно с АО «НИИМЭ» при поддержке Минпромторга России
плазмохимического осаждения (ПХО) для технологий уровня 65/45/28 нм
Выполнен совместно с АО «НИИМЭ» при поддержке Минпромторга России
Разработан при поддержке
Минпромторга России,
совместно с АО «НИИМЭ»
совместно с АО «НИИМЭ»
Диаметр пластин
200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
FOUP-контейнер, SMIF-контейнер
Промышленно-ориентированный кластерный комплекс плазмохимического травления для технологий уровня до 65 нм
Диаметр пластин
100 мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Вакуумная установка электронно-лучевого испарения предназначена для нанесения металлических плёнок на полупроводниковые пластины
Диаметр пластин
до 200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер
Габариты ШхВхГ
5000×4500×2200
Промышленно-ориентированный кластерный комплекс плазмохимического травления (ICP RIE) слоев металлизации Al для пластин диаметром до 200 мм
Диаметр пластин
до 200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер
Габариты ШхВхГ
5000*4500*2200
Промышленно-ориентированный кластерный комплекс плазмохимического травления поликремния для пластин диаметром до 200 мм