Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
Многослойное нанесение пленок металлов и резистивных материалов на подложки (пластины) методом магнетронного распыления
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
Плазмохимическое селективное (реактивно-ионное, анизотропное) травление кварца, пирекса, алмазных пленок, карбида кремния и других труднотравимых диэлектрических и полупроводниковых слоев.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических тонких пленок на рулонный материал методом магнетронного распыления.
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Нестандартное оборудование
—
Да
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
Реактивно-ионное травление алюминиевой металлизации в хлорсодержащей плазме, а также тонких металлических слоев, диэлектрических слоев, материалов группы А3B5.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Из кассеты в кассету
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки методом магнетронного распыления.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Термическая обработка
Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов в газовой среде (оксидирование, отжиг, сушка, разгонка
диффузанта, восстановление кристаллических структур) при нормальном давлении.
диффузанта, восстановление кристаллических структур) при нормальном давлении.
Диаметр пластин
—
До 100мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
Травление диэлектрических слоев и полупроводниковых материалов методом реактивно-ионного травления.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Из кассеты в кассету
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на пластины методом магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Шлюзовая
Поиск по каталогу/Термическая обработка
Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов в газовой среде (отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление кристаллических структур) при нормальном давлении.
Диаметр пластин
—
До 100мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
Атомно-слоевое травление оксида кремния, кремния и очистка поверхности.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
—
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая