В Москве завершилась 20-я Международная научно-техническая конференция «Вакуумная техника, материалы и технология». Она проходила с 28 по 30 апреля в рамках деловой программы выставки решений в области вакуумных и криогенных технологий для науки и промышленности VacuumCryoTech.
Представители НИИТМ (ГК «Элемент», MOEX: ELMT) выступили в секции «Вакуумные системы, устройства и технологическое оборудование» конференции. В докладе «Метод оптического контроля ориентации полупроводниковой пластины в вакуумной технологической камере» авторы описали предлагаемое решение для контроля ориентации пластины – критического для целого ряда технологических процессов параметра, который обеспечивает требуемую точность без вращения пластины и дополнительных компонентов в вакууме.
