| |
Модернизация оборудования > Модернизация и восстановление оборудования > Электроника ТМ-1201
|
Вакуумная установка напыления металлических плёнок с
магнетронной
системой (модернизированная) «Электроника ТМ–1201» («Оратория
29») |
 |
| Назначение и применение: |
Нанесение
многослойных металлических пленок на кремниевые пластины методом магнетронного
распыления в производстве БИС и СБИС.
Работа в
автоматическом режиме автономно и в составе технологических модулей с
управлением из чистой зоны. |
| Оснащение: |
|
Шлюзовая
автоматическая система загрузки-выгрузки пластин по принципу “из кассеты в
кассету”.
Система
непрерывного транспортирования пластин в рабочей камере;
Три устройства
магнетронного распыления.
Высокочастотное
устройство с магнетронным разрядом для предварительной очистки поверхности
пластин.
Криогенная система
откачки в рабочей камере.
Газовая,
пневматическая и гидравлическая системы
Микропроцессорная
система управления (МПСУ), обеспечивающая: |
- работу установки
в автоматическом режиме;
- стабилизацию и допусковый
контроль параметров технологического процесса;
- диагностику
работоспособности узлов и систем;
- архивация полученных данных
на глубину до 250 час,
- библиотека рецептов
техпроцессов до 4.000,
- вывод информации на дисплей.
| |
| Особенности: |
Нанесение пленок
различных немагнитных и магнитных металлов.
Применение
магнетронных распылителей планарного типа с протяжённой мишенью.
Воспроизводимость
толщины пленок ±3% благодаря непрерывному перемещению пластин через зоны
обработки, выполненные по принципу “вакуум в вакууме”.
Плавная откачка
шлюзовых камер.
Возможность
нанесения диэлектрических плёнок (ВЧ режим магнетронной системы).
|
Схема
Установки |
 |
|
Техническая
Характеристика |
| Режим работы |
автоматический |
| Диаметр обрабатываемых пластин |
76, 100, 150 мм |
| Производительность (пластины диаметром 150 мм, толщина пленки
алюминия 1 мкм |
не менее 90 пластин/ч |
| Неравномерность пленки по толщине при обработке
пластин: |
– диаметр 76, 100 мм ±3 %
– диаметр 150 мм ±4 % |
| Предельное остаточное давление в рабочей камере |
6,7•10 –5 Па |
| Диапазон рабочих давлений в зоне предварительной очистки
поверхности пластин |
0,26/0,6 Па |
| Мощность устройства очистки поверхности пластин |
до 0,6 кВт |
| Скорость очистки поверхности пластин |
не менее 15 нм/мин |
| Неравномерность очистки поверхности пластин |
+/- 10 % |
| Диапазон рабочих давлений в зоне нанесения пленки |
0,4/1,3 Па |
| Мощность каждого устройства магнетронного
распыления |
до 6 кВт |
| Диапазон регулирования скорости транспортирования
пластин |
120/400 мм/мин |
| Электропитание установки: |
• Трёхфазная сеть переменного тока с нулевым проводом:
–
напряжением 380/220 В;
– частотой 50 Гц.
• Мощность потребления не более
38 кВА |
| Габаритные размер |
1394 х 5840 х 1950 мм |
| Масса |
не более 3 000 кг |
Модернизация действующих (восстановленных)
установок |
|
Узлы,
системы |
Цель |
Модернизация |
| Приводы шлюзовых
систем |
Обеспечение
надёжности с увеличением нагрузок на исполнительные механизмы при работе с
пластинами до диаметра 150 мм. |
Замена фрикционной
пары на винтовую. Установка более мощного двигателя с зубчато-ремённой
передачей. |
| Привод
транспортной системы |
Обеспечение
натяжения конвейерной цепи при термоциклическом воздействии на неё
(нагрев-охлаждение). |
Установка
натяжного механизма и шариковой муфты, регулируемой на усилие отключения
привода. |
| Коллекторы
гидравлической системы |
Повышение
надёжности, упрощение обслуживания. |
Замена элементов
системы на современные |
| МПСУ |
Внедрение системы управления на базе IBM-совместимого компьютера и
промышленного контроллера с набором интерфейсных плат. Применение современных
датчиков. |
| Примечание. По согласованию с заказчиком модернизация
может быть проведена для других узлов и систем
установки. | |
|
|
| |
|
