Вакуумная установка напыления металлических плёнок с магнетронной системой (модернизированная) «01НИ – 7 – 015» («Магна 2М», «Оратория 2М»)
Назначение и применение:
Нанесение многослойных металлических пленок на кремниевые пластины методом магнетронного распыления в производстве БИС и СБИС.
Работа в автоматическом режиме автономно и в составе технологических модулей с управлением из чистой зоны.
Оснащение:
Шлюзовая автоматическая система загрузки-выгрузки пластин по принципу “из кассеты в кассету”.
Система непрерывного транспортирования пластин в рабочей камере;
Три устройства магнетронного распыления.
Газовая, пневматическая и гидравлическая системы
Микропроцессорная система управления (МПСУ), обеспечивающая:
- работу установки в автоматическом режиме; - стабилизацию и допусковый контроль параметров технологического процесса; - диагностику работоспособности узлов и систем; - архивация полученных данных на глубину до 250 час, - библиотека рецептов техпроцессов до 4.000, - вывод информации на дисплей.
Особенности:
Нанесение пленок различных немагнитных и магнитных металлов.
Применение магнетронных распылителей планарного типа с протяжённой мишенью.
Воспроизводимость толщины пленок ±3% благодаря непрерывному перемещению пластин через зоны обработки, выполненные по принципу “вакуум в вакууме”.
Плавная откачка шлюзовых камер.
Возможность установки высокочастотного устройства с магнетронным разрядом для предварительной очистки поверхности пластин.
Возможность установки криогенного насоса.
Возможность нанесения диэлектрических плёнок (ВЧ режим магнетронной системы).
Схема Установки
Техническая Характеристика
Режим работы
автоматический
Диаметр обрабатываемых пластин
76, 100, 150 мм
Производительность (пластины диаметром 150 мм, толщина пленки алюминия 1 мкм
не менее 90 пластин/ч
Неравномерность пленки по толщине при обработке пластин:
– диаметр 76, 100 мм ±3 %
– диаметр 150 мм ±4 %
Предельное остаточное давление в рабочей камере
6,7•10 –5 Па
*Диапазон рабочих давлений в зоне предварительной очистки поверхности пластин
0,26/0,6 Па
*Мощность устройства очистки поверхности пластин
до 0,6 кВт
*Скорость очистки поверхности пластин
не менее 15 нм/мин
*Неравномерность очистки поверхности пластин
+/- 10 %
Диапазон рабочих давлений в зоне нанесения пленки
0,4/1,3 Па
Мощность каждого устройства магнетронного распыления
до 6 кВт
Диапазон регулирования скорости транспортирования пластин
120/400 мм/мин
Электропитание установки:
• Трёхфазная сеть переменного тока с нулевым проводом: – напряжением 380/220 В; – частотой 50 Гц. • Мощность потребления не более - 28 кВА * - 38 кВА
Габаритные размер
1394 х 5840 х 1950 мм
Масса
не более 2 970 кг
*Примечание. При наличии устройства очистки пластин.
Обеспечение надёжности с увеличением нагрузок на исполнительные механизмы при работе с пластинами до диаметра 150 мм.
Замена фрикционной пары на винтовую. Установка более мощного двигателя с зубчато-ремённой передачей.
Привод транспортной системы
Обеспечение натяжения конвейерной цепи при термоциклическом воздействии на неё (нагрев-охлаждение).
Установка натяжного механизма и шариковой муфты, регулируемой на усилие отключения привода.
Коллекторы гидравлической системы
Повышение надёжности, упрощение обслуживания.
Замена элементов системы на современные
МПСУ
Внедрение системы управления на базе IBM-совместимого компьютера и промышленного контроллера с набором интерфейсных плат. Применение современных датчиков.
Примечание. По согласованию с заказчиком модернизация может быть проведена для других узлов и систем установки.
