Модернизация оборудования > Системы распыления магнетр. > Мультикатодное распылительное устройство

Назначение и применение:

Предназначено для нанесения пленок на полупроводниковые пластины мето­дом магнетронного распыления враща­ющихся мишеней в производстве БИС и СБИС. Может использоваться в экспери­ментальных и промышленных вакуум­ных установках индивидуальной обработки пластин, на пример «Оратория - 9», «Оратория - 38».

Особенности:

три автономных магнетронных узла с дисковыми мишенями малого диаметра; вращение магнетронных узлов относительно центральной оси; прогрев и охлаждение водой катодов магнетронных узлов в процессе вращения; подключение катодов к индивиду­альным источникам питания с помощью коллекторного узла; фильтр защиты источников пи­тания для надежного функциони­рования устройства при подаче ВЧ напряжения смещения на подложкодержатель; нанесение пленок на пластины со ступенчатым рельефом; нанесение многокомпонентных пленок заданного состава, достигаемого регулированием мощности магнетронных узлов; нанесение пленок проводящих материалов, включая тугоплавкие и драгоценные металлы, и пленок, обладающих свойствами высокотемпературной сверхпроводимости; нанесение диэлектрических пленок реактивным осаждением; эффективное, использование распыленного материала благодаря наклонному расположению мишеней;

Техническая Характеристика

Количество магнетронных узлов, шт 3 Диаметр мишени, мм 100 Максимальная мощность  разряда на мишени, кВт: 3                       при контактном креплении 3                       при креплении пайкой 4 Суммарная мощность, кВт 9- 12 Неравномерность наносимых пленок по толщине, %:                      при диаметре пластин  100,   125 мм ±2                      при диаметре пластин   150, 200 мм ±3-5 Расход холодной воды температурой (15±10)°С под давлением   (3 – 4) · 105 Па, м3/с,  не менее 7· 10-5 Диаметр условного прохода                            присоединительного фланца, мм 320                            габаритные размеры,  мм Æ 400 х 500 Масса, кг, не более 35

Схема установки

1 -стационарный корпус; 2 -магнетронный узел; 3 -съемное основание; 4 -вращающийся корпус; 5 -привод вращения; 6 -токораспределительный узел - коллектор; 7 - система прогрева и охлаждения; 8 - защитный экран; 9-магнитный блок; 10 -мишень; 11 -расположение подложки