|
|
|
|
|
| |
| |
Модернизация оборудованияНИИТМ проводит модернизацию и обслуживание практически всего комплекса оборудования, осуществляющего базовые технологические операций производства полупроводниковых приборов и использующего различные физико-химические методы обработки:
|
Вакуумное СТО |
| «Электроника ТМ-1201» |
Вакуумная установка напыления металлических плёнок с магнетронной системой («Оратория 29») |
|
«01НИ–7–015» |
Вакуумная установка напыления металлических плёнок с магнетронной системой («Магна 2М», «Оратория 2М») |
| «01НИ–7–006» |
Вакуумная установка напыления металлических плёнок с магнетронной системой(«Оратория 5») |
|
Физико-термическое оборудование |
| «Эпиквар-121 МТ» |
Установка наращивания эпитаксиальных слоев кремния различной толщины. («УЭ.ПГЭ-10/150-020») |
|
|
|
Системы магнетронного распыления |
| «Мультикатодное распылительное устройство» |
Предназначено для нанесения пленок на полупроводниковые пластины методом магнетронного распыления вращающихся мишеней в производстве БИС и СБИС. Может использоваться в экспериментальных и промышленных вакуумных установках индивидуальной обработки пластин |
| «Планарные магнетронные распылительные устройства» |
Предназначены для нанесения пленок на полупроводниковые пластины методом магнетронного распыления дисковой мишени из вращающейся разрядной зоны в производстве БИС и СБИС. Могут использоваться в экспериментальных и промышленных вакуумных установках индивидуальной обработки пластин |
|
|
|
| |
|
|
| |
|
|
|
|
| |
|
| |
Весь дизайн «Кукумбер» 2005.
Все права защищены. |
|
|
|
|
