На основе вакуумного загрузочного модуля и специализированных реакторов (рабочих камер) создаётся унифицированное вакуумное оборудование для технологических процессов микро- и наноэлектроники
Вакуумный загрузочный модуль включает:
• прогреваемую (охлаждаемую) загрузочную камеру из нержавеющей стали; • шлюзовую камеру загрузки-выгрузки подложки или подложкодержателя; • высоковакуумный турбомолекулярный или криогенный насос; • два безмасляных форвакуумных насоса; • регулируемые дроссельные заслонки высоковакуумной и форвакуумной магистралей; • систему вертикального подъема подложкодержателя; • элементы гидравлической и пневматической систем охлаждения; • элементы охлаждения и термостатирования; • вакуумные датчики и клапаны; • электрокоммутационную панель.
Вакуумный загрузочный модуль позволяет осуществлять:
• загрузку-выгрузку одной подложки или одного подложкодержателя диаметром до 200 мм (200х200 мм) через шлюзовую камеру в реактор; • ионно-плазменную ВЧ очистку пластин перед напылением; • откачку загрузочной камеры до 3х10-5 Па; • откачку камеры шлюзования до 5х10-1 Па (5х10-4 Па по заказу); • контролируемое натекание газа в загрузочную камеру и камеру шлюзования; • защиту датчиков давления от агрессивных сред.
