Вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических слоёв "МАГНА ТМ-200"
Назначение:
Нанесение многослойных или многокомпонентных металлических и диэлектрических слоёв, в том числе для формирования наноструктурированных каталитических слоёв (Fe, Ni, Co и других).
Особенности:
Магнетронное распылительное устройство планарное с мишенью диаметром 280 мм или мультикатодное с мишенями диаметром 100 мм. ВЧ-очистка подложек перед нанесением слоёв. Шлюзовая камера загрузки – выгрузки подложек диаметром до 200 мм (200х200 мм). Безмаслянная система откачки (турбомолекулярные или криогенные, форвакуумные насосы). Микропроцессорная система управления. Возможность встраивания в «чистую» комнату. Возможность объединения в кластерный комплекс - стыковка отдельных установок через шлюзовую камеру или с платформой транспортно-загрузочного модуля.
Схема и характеристика установки
Скорость нанесения: – металлических пленок.....................до 0,5 мкм/мин; – диэлектрических пленок...................до 0,2 мкм/мин. Неравномерность пленок по толщине (подложка диаметром 150 мм).......± 3 %. Температура подложек.......................до 300°С.
Магнетронные распылительные устройства
Мультикатодное МРУ: Нанесение многокомпонентных (a) и многослойных (b) плёнок на полупроводниковые пластины методом магнетронного распыления вращающихся мишеней.
Особенности: • Три автономных магнетронных узла с дисковыми мишенями диаметром 100 мм. • Вращение магнетронных узлов относительно центральной оси. • Нанесение плёнок заданного состава – достигается регулированием мощности магнетронных узлов. • Нанесение плёнок проводящих материалов, включая тугоплавкие и драгоценные металлы.
Планарное МРУ: Нанесение плёнок на полупроводниковые пластины методом магнетронного распыления дисковой мишени из вращающейся разрядной зоны
Особенности: • Катод с дисковой мишенью. • Комбинированный магнитный блок с электроприводом вращения центральной секции. • Нанесение плёнок проводящих материалов в режиме постоянного тока и плёнок диэлектрических материалов в ВЧ-режиме.
