Наши разработки >
Физико-термическое оборудование >
«Отжиг ТМ 4»“Отжиг ТМ–4” – электропечь для термической обработки изделий и материалов в газовых средах
Горизонтальная печь резистивного нагрева предназначена для автоматизированной термической обработки (сушка, отжиг, осаждение пленок из газовой фазы) изделий и материалов при нормальном давлении в контролируемой среде рабочих газов.
Однореакторная, трехсекционная электропечь автоматизирована на всех операциях термообработки с управлением стадиями процесса от микропроцессорной системы с контролем параметров.
Загрузка и выгрузка обрабатываемых изделий и материалов – ручная.
Имеется двухканальная газовая система с регуляторами давления и расхода газа (например, азота и водорода).
Устройство электропечи:
• Горизонтальная нагревательная камера закреплена на приборном основании, имеет трехсекционный спиральный нагреватель с платиновой термопарой в каждой секции.
• Внутри нагревателя установлен кварцевый реактор, имеющий притертую пробку для герметичного запирания перед началом техпроцесса.
• Подача газов производится через штуцер, расположенный около входного фланца реактора.
• Сброс газа производится через два штуцера, расположенные сверху и внизу хвостовой части реактора. Штуцеры подключаются к линии сброса газа через специальный клапан.
• Энергоподводки – сеть 3 –х фазная 380 В; вода - водопроводная, расход не менее 0,4 м3/час; вытяжная вентиляция производительностью не менее 100 м3/час.
Особенности:
• Управление скоростью нагрева и охлаждения реактора.
• Раздельный сброс тяжелых и легких газов из реактора (сокращение времени замещения рабочего газа продувочным и наоборот).
• Встраивается в “чистую комнату”.
Технические характеристики:
• Режим работы – полуавтоматический.
• Внутренний диаметр кварцевого реактора – 150 мм.
• Длина рабочей зоны реактора – 800 мм.
• Диапазон рабочих температур – 150/1100oС.
• Неравномерность распределения температуры по длине рабочей зоны при 300/1100oС – не более 2oС.
• Нестабильность поддержания температуры в любой точке рабочей зоны при 300/1100oС – не хуже 1,5oС.
• Расход газа (линия I) ( N2) – 540 л/час.
• Расход газа (линия II) ( H2) – 90 л/час.
• Время разогрева до Тмакс 1100oС – не более 25 мин.
• Потребляемая мощность, макс. (режим разогрева) – не более 20 кВт.
Работа электропечи автоматизирована микропроцессорной системой управления на базе компьютера с тремя регуляторами-контроллерами ИТР2523 и измерителем расхода газа ИТ2512.
Функции системы управления:
• обеспечение работы в реальном времени по заданной циклограмме с выдачей звукового сигнала об окончании технологического цикла;
• обеспечение блокировок с отключением электропитания нагревателя при перегреве в любой из секций;
• подача звукового и светового сигнала, переход на специальные интервалы типа "АВАРИЯ", включающие действия во избежание аварийной ситуации (перегрев, отсутствие протока воды в системе охлаждения камеры, отклонение давления в магистралях рабочих газов, отключение вытяжной вентиляции);
• допусковый контроль температуры, расхода газов и давления на входах магистралей подачи рабочих газов;
• обеспечение визуального контроля работы электропечи по динамической мнемосхеме;
• запись диагностических сообщений.
• температура и время техпроцесса задаются технологом и выполняются системой управления в автоматическом режиме. (Его запуск осуществляется оператором после загрузки и закрытия реактора).
 |
Т0, Т4 – максимально допустимые температуры загрузки и выгрузки из реактора (могут совпадать);
Т1, Т3 – температуры начала и окончания продувки Н2 (могут совпадать);
Т2 – температура интервала отжига;
t0 – пуск, начало технологического цикла;
t1 – включение подъема температуры;
t2 – начало продувки Н2;
t3 – начало интервала отжига;
t4 – окончание интервала отжига и отключение нагрева;
t5 – переход на продувку N2;
t6 – окончание технологического цикла (конец техпроцесса и разрешение выгрузки и последующей загрузки реактора);
(t1-t0) – предварительная продувка N2;
(t2-t0) – продувка N2;
(t6-t5) – продувка N2;
(t5-t2) – продувка Н2.
О моменте окончания техпроцесса исполнитель информируется звуковой и световой сигнализацией 
