НАУЧНО ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ

Наши разработки > Физико-термическое оборудование > Оксид ТМ

Установка для процессов диффузии, окисления, отжига пластин и материалов при нормальном давлении "Оксид ТМ"

Назначение:

·   Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов (диффузия, окисление, отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление кристаллических структур) при нормальном атмосферном давлении в контролируемой среде рабочих газов.

Особенности:

·   Однореакторная электропечь резистивного нагрева горизонтального типа.

·   Кварцевый реактор с герметизируемой рабочей зоной.

·   Трехсекционный спиральный нагреватель с платиновой термопарой в каждой секции.

·   Газовая система (2 – 5 каналов).

·   Управление скоростью нагрева и охлаждения реактора.

·   Раздельный сброс тяжелых и легких газов из реактора.

·   Микропроцессорная система управления.

·   Возможность встраивания в “чистую” комнату.

·   Внутренний диаметр реактора – 150 мм.

·   Длина рабочей зоны реактора – 800 мм.

·   Диаметр обрабатываемых пластин– до 100 мм.

·   Количество одновременно обрабатываемых пластин– до 120

·   Диапазон рабочих температур – 300¸1100°С.

·   Неравномерность распределения
температуры по длине рабочей зоны – не более ± 2°С.

·   Нестабильность поддержания
температуры в рабочей зоне– не более ±1,5°С.

·   Время разогрева до 1100°С – не более 35 мин.

·   Электропитание (3 фазы, 380 В)– не более 20 кВт

·   Расход воды – не более 0,4 м³/час;

·   Расход воздуха (вытяжная вентиляция)– не более 100 м³/час.

·   Габаритные размеры– 1020 х 2800 х 1800 мм.