Наши разработки > Элементная база технологического оборудования > Система автоматической прецизионной подачи реагента ТЭОС с термостатированием

Система автоматической дозаправки жидких реагентов с термостатированием для диффузионных процессов

"Система подачи ТЭОС"

Назначение:
Система предназначена для прецизионной подачи реагента тетраэтилортосиликата (ТЭОС) с заданной температурой в реактор технологического оборудования с автоматической дозаправкой ТЭОС из резервной емкости.
Используется в микроэлектронном производстве и нанотехнологиях

Оснащение:
• Питатель с резистивным нагревателем и датчиком верхнего уровня жидкого ТЭОС.
• Газовая система.
• Термостатирующая система – бокс (с питателем, элементами газовой системы) и выходной трубопровод.
• Резервная ёмкость с датчиками уровня.
• Блок управления процессом и термостатированием.
• Возможно управление от микропроцессорной системы управления.

 

 

Технологические возможности:
• Система обеспечивает стабильность технологических режимов оборудования и работает в автоматическом режиме автономно.
• Используется принцип насыщения азота парами при его барботировании через ТЭОС.
• Поддержание постоянного уровня ТЭОС в питателе (критично при барботировании).
• Термостатирование обеспечивается в трёх независимых подсистемах:
- управление нагревом питателя;
- термостатирование бокса с элементами газовой системы;
- стабилизация температуры выходного трубопровода.
• Автоматическая дозаправка питателя из резервной ёмкости в процессе работы системы и обеспечение непрерывной работы технологической установки без разгерметизации трубопроводов.

 

 

Технические характеристики:

Режим работы.................................................................................автоматический
Время выхода системы в рабочий режим........................................не более 45 мин

Рабочая температура (определяется Заказчиком):
• питателя.......................................................................................55°C
• в термостатирующем боксе..........................................................60°C
• выходного трубопровода..............................................................65°C

Флуктуация уровня ТЭОС в питателе..............................................10 мм
Вместимость питателя....................................................................2,9 л
Вместимость резервной ёмкости....................................................10,2 л
Разовая порция дозаправки питателя ТЭОС...................................10 мл

Электропитание установки:
• Однофазная сеть переменного тока: 
– напряжением..............................................................................220 В
– частотой.....................................................................................50 Гц
• Мощность потребления...............................................................не более 2 кВт
Габаритные размеры:
• Установки (термостатирующий бокс с блоком управления)...........600х350х1950 мм
• Резервной ёмкости......................................................................диаметром 200 х 716 мм
• Выходного трубопровода.............................................................1 – 1,5 м
Масса.......................................................... .................................не более 100 кг