Наши разработки > Элементная база технологического оборудования

«Система автоматической прецизионной подачи реагента ТЭОС с термостатированием»

«Механизм перемещения с нагреваемым  до 350оС подложкодержателем и подачей смещения»

«Механизм перемещения с нагреваемым  до 850оС подложкодержателем и подачей смещения»

«Механизм перемещения с охлаждаемым подложкодержателем и подачей смещения»

«Источник плазмы с  ICP   реактором и согласующим устройством»