О компании > История > История НИИТМ

* История НИИТМ

* Директора НИИТМ

* Хроника

---

“Электронная промышленность” № 1_2007

ИЗ ИСТОРИИ ПРЕДПРИЯТИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

 

ОАО «НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ»

 

Для производства интегральных микросхем (ИС) необходимо выполнить сотни сложнейших технологических операций на специальном технологическом оборудовании (СТО). Без СТО разработка интегральных микросхем, а тем более их массовое производство невозможны.

 

Несмотря на то, что к началу 1960-х годов в Советском Союзе не было массового производства микроэлементов и микросхем, отсутствовали технология и оборудование для их производства, основные требования к оборудованию для микроэлектроники, принципы его конструирования были уже достаточно четко сформулированы, и возникла необходимость в специализации машиностроительного производства. Поэтому в числе первых предприятий Центра микроэлектроники в г. Зеленограде 8 августа 1962 г. Постановлением ЦК КПСС и СМ СССР № 831-358 был организован НИИ-350 с опытным заводом, впоследствии - Научно-исследовательский институт точного машиностроения с заводом «Элион» (НИИТМ и завод «Элион»). Была определена основная задача НИИТМ - создание СТО для производства ИС.

 

Первый директор НИИТМ Е.Х. Иванов и его заместитель по кадрам С.П. Фролов в короткий срок сформировали коллектив разработчиков и производственный персонал опытного завода. Подготовленных специалистов по разработке СТО для микроэлектроники тогда не было, поэтому пришлось привлекать специалистов из различных областей науки, техники и производства, что позволило в дальнейшем решать сложные задачи в процессе создания СТО для производства изделий микроэлектроники.

 

В первые годы своей деятельности институтом были разработаны и изготовлены на заводе свыше 100 наименований технологического оборудования. Среди них несколько моделей установок для напыления металлических и диэлектрических пленок методом термического испарения в вакууме, первые модели диффузионных печей, установки для эпитаксиального выращивания кремния, установки лазерной обработки и целый ряд контрольно-измерительных приборов. Начиная с 1965 г. предприятие перешло к решению более сложной задачи - созданию промышленных комплектов оборудования для массового производства ИЭТ и оснащению им предприятий электронной отрасли.

 

За короткое время были разработаны, освоены в производстве и выпущены около 200 наименований и более 3000 единиц основного технологического оборудования.

 

Среди них:

•  Комплект СТО для производства планарных микротранзисторов.

•  Комплект СТО для производства гибридных схем.

•  Комплект СТО для сборки и герметизации гибридных схем.

 

К концу 1960-х годов была реализована очень важная задача: создание комплектов автоматизированного оборудования. Один из таких комплектов "Корунд-С" позволял перейти к массовому выпуску интегральных схем на пластинах диаметром 60 мм с производительностью 20 млн. изделий в год.

 

За разработку и внедрение этого комплекта оборудования группе специалистов в 1972 г. была присуждена Государственная премия СССР (Блинов И.Г., Кутко П.С., Сандеров В.Л., Уксусов А.С., Богородицкий Л.А., Амельчаков Н.П., Панкратов Л.М., Боровиков В.Н.).

 

Ленинская премия была присуждена директору предприятия Савину Виктору Васильевичу.

 

Лауреатами Государственной премии СССР примерно в эти же годы стали Гревцев Н.В., Скрипниченко А.С. за разработку оборудования с применением лазера и Минайчев В.Е. за разработку вакуумного оборудования.

 

В этот же период были разработаны еще два комплекта оборудования (разработчики Гревцев Н.В., Шанов A.M., Соколов А.В., Назаров Г.В.):

•  комплект "Отражение" для монтажа ИС с твердыми выводами;

•  комплект "Офелия" для изготовления цилиндрических магнитных пленок, используемых в качестве носителей информации при построении электронных запоминающих устройств.

 

Комплект "Офелия" был первым в СССР высокопроизводительным промышленным оборудованием подобного назначения.

 

В середине 1970-х годов предприятие перешло от разработок и создания отдельных единиц и комплектов оборудования к созданию автоматизированных поточных линий (АПЛ), которые представляли собой комплекс высокопроизводительного технологического оборудования, связанного конвейерно-адресной системой и управлением от ЭВМ.

 

Дальнейшее развитие микроэлектроники, связанное с одновременным повышением процента выхода годных изделий и значительным увеличением их выпуска, поставило перед электронным машиностроением новые задачи.

 

В конце 1970-х - начале 1980-х годов коллектив предприятия приступил к разработке и изготовлению технологического оборудования, основанного на новых физических принципах:

•  электронные и ионные пучки;

•  магнетронное и электронно-лучевое напыление;

•  плазмохимические процессы;

•  рентгеновское излучение.

 

При этом все разрабатываемое оборудование переводилось на обработку пластин диаметром 100-150 мм при управлении от микропроцессоров.

 

Наряду с созданием технологического оборудования, непосредственно участвующего в производстве ИС, на предприятии было создано целое направление по разработке и производству контрольно-измерительного оборудования. К концу 1970-х годов в НИИ были разработаны и освоены в производстве крупные измерительные комплексы серии "Элекон" (разработчики Богородицкий Л.А., Попель Л.М., Грачев О.Г., Костенков А.А., Гаврилов Ю.В., Панков Е.Д., Бондаревский А.С.). Всего с 1962 по 1990 год в НИИТМ было создано около 30 видов оборудования контроля - установок, систем, комплексов. Из них 23 вида длительное время серийно выпускались заводом "Элион" для оснащения предприятий отрасли. Всего было произведено более 800 единиц контрольно-измерительного оборудования.

 

Особо следует отметить, что уже в конце 1970-х годов в НИИ была развернута работа по проектированию и крупномасштабному производству товаров народного потребления (ТНП). Главный упор был сделан на разработку и производство сложных электротехнических изделий. В НИИ было создано подразделение по проектированию переносных кассетных магнитофонов, а на заводе "Элион" было развернуто специальное производство аппаратуры магнитной записи мощностью 200 тыс. магнитофонов в год. Были разработаны и освоены моно- и стереомагнитофоны серии "Электроника".

 

Высокие темпы развития электронной промышленности требовали от коллективов НИИ и опытного завода "Элион" повышения эффективности их работы, поэтому в 1980-е годы в НИИ стали осваивать и развивать системы автоматического проектирования (САПР).

 

С помощью САПР в 1980-1985 гг. был выполнен большой объем работ по разработке технических средств для гибких производственных систем в производстве ИС и для отдельных участков механообработки различных деталей. В частности был создан промышленный робот "Электроника НЦ ТМ-01" грузоподъемностью до 3 кг с пятью степенями подвижности (разработчики Володин В.П., Ханцевич А.В., Ращинский В.П.). Этот робот был одним из лучших в стране. Их было изготовлено около 1500 шт.

 

Для выполнения транспортных операций был создан транспортный робот "Электроника НЦ ТМ-25" (разработчики В.П. Ращинский, В.Г. Федорин). Этот робот представляет автономное транспортное автоматическое средство с автономным источником питания и микропроцессорной управляющей вычислительной системой. Робот оснащен датчиком слежения за курсом, устройством предупреждения столкновений, механизмом подъема груза.

 

За разработку и создание гибкого автоматизированного производства в 1984 г. группе специалистов НИИ и завода "Элион" была присуждена Государственная премия СССР (Уксусов А.С., Лобиков Л.В., Березников Г.И., Сорокин A.M., Шпаков А.Н., Ключников В.И., Никитин Б.И.).

 

К середине 1980-х годов остро встал вопрос о повышении выхода годных изделий за счет уменьшения уровня привносимой дефектности из внешней среды и рабочих камер технологического оборудования. С повышением требований к уровню загрязнений на предприятиях стали создаваться "чистые" производственные помещения. Однако высокая стоимость их создания и эксплуатации потребовала поиска путей снижения материальных затрат. Один из таких путей - автоматизированное производство, где однокамерное оборудование соединено с транспортной системой, которая перемещает в вакууме обработанную пластину от одного вида оборудования к другому в соответствии с технологическим маршрутом. Был создан участок "сухой" литографии "Основа-2 Л" в составе восьми установок, включая электронно-лучевую. Особенностью участка является полная автоматизация оборудования и размещения его в обычном производственном помещении. Благодаря транспортировке пластин в вакууме без извлечения их на атмосферу, до завершения всех предусмотренных вакуумных технологических операций, уровень привносимой дефектности был в несколько раз меньше, чем при производстве в самой "чистой зоне" того времени на заводе "Ангстрем".

 

В эти же годы в нашей отрасли широкое распространение получило производство микропроцессоров и персональных компьютеров. Коллективу НИИ была поручена работа по разработке и изготовлению первых накопителей на гибких магнитных дисках. В кратчайшие сроки была произведена разработка и освоено производство этих сложных устройств. Из маленького участка это производство быстро переросло в цех, а впоследствии с участием специалистов и рабочих НИИТМ и завода "Элион" был построен и начал функционировать завод "Элакс" по производству накопителей.

 

Технический уровень разработок получил высокую оценку на зарубежных и внутрисоюзных выставках и ярмарках: НИИТМ получил 24 золотые, 28 серебряных и 69 бронзовых медалей; 4 диплома первой степени на международных выставках и ВДНХ СССР за разработанные образцы оборудования и приборов.

 

Проводимая на предприятии патентно-лицензионная работа в значительной мере способствовала повышению технического уровня разработок. Специалистами НИИТМ было подано около 1200 заявок на изобретение и получено более 600 авторских свидетельств и патентов, большинство из которых нашли применение в разрабатываемом оборудовании.

 

По технической документации, разработанной специалистами НИИТМ, в отрасли было изготовлено не менее 50% технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники.

 

В рамках межправительственных соглашений НИИТМ принимал участие во многих программах по разработке технологического оборудования в рамках СЭВ, а также непосредственно сотрудничал с предприятиями и фирмами ГДР, ЧССР, ПНР,ВНР, Болгарии.

 

Результатом такого сотрудничества явилось создание в 1987 г. первого в СССР совместного советско-болгарского международного объединения ''ЭМКО". Коллективы НИИТМ и комбината "Мехэлектроника" (НРБ, г. Габров) объединились с целью расширения производства плазмохимического оборудования.

 

Успехи, достигнутые НИИТМ за долгие годы, не мыслимы без людей, которые своим самоотверженным трудом создавали имя и авторитет предприятия.

 

Кроме того, коллектив НИИТМ и завода "Элиона" являлся постоянной кузнецей кадров, как для отрасли, так и для городского хозяйства. Выходцы из НИИТМ и завода "Элиона" работали везде - от заместителей министра и начальников главка до руководителей различного ранга в организациях г. Москвы.

 

В стенах НИИТМ получили высокую ученую степень доктора технических наук 4 специалиста и более 50 - стали кандидатами технических наук. За большой вклад в дело развития электронной промышленности 259 работников НИИТМ и завода "Элион" награждены орденами и медалями СССР и РФ. В 1981 г. коллектив НИИТМ и завода "Элион" был награжден Орденом Трудового Красного Знамени.

 

Большое внимание уделялось и подготовке инженерных кадров. Основным институтом по подготовке специалистов стал МИЭТ, с которым на всех этапах деятельности предприятия было самое тесное сотрудничество – практика студентов на рабочих местах в НИИТМ и на заводе "Элион", преподавание наших ученых и специалистов в МИЭТе. Причем, первым заведующим кафедрой "Спецоборудования" в МИЭТе долгие годы был главный инженер НИИ точного машиностроения Блинов И.Г.

 

В конце 1980-х годов в СССР начались процессы перестройки и расформирования. Принудительное разделение единого комплекса НИИ-ОПЗ на два самостоятельных предприятия НИИТМ и завод "Элион", осуществленное в конце 1991 г., было ошибкой, от которой пострадали оба предприятия и отрасль в целом. В условиях утраты Государственного заказа на проведение работ, роста цен, инфляции, диктата монополистов, спада производства руководством НИИТМ был введен жесткий режим экономии затрат, хозяйственный расчет в подразделениях с зависимостью оплаты труда от объема финансирования работ. Проведено также реформирование структуры предприятия для самостоятельного функционирования, кроме того, была создана система маркетинга по работам, заказам и услугам.

 

В 1990-е годы НИИТМ провел ряд работ в интересах правительства Москвы по заданиям московского комитета по науке и технологиям. Кроме того, в эти годы НИИТМ проводил работы по заданиям Министерства науки, монетного двора г. Санкт-Петербурга, Госпрома.

 

Для совместного с КНР предприятия "Корона-Семикондактор" НИИТМ с заводом "Элион" выполнил в 1996-1998 гг. крупный заказ по поставке 17 единиц СТО.

 

Крупным заказчиком оборудования в 1990-е годы для НИИТМ являлся Китай. В соответствии с программой развития микроэлектроники КНР, ряд НИИ КНР подписали с НИИТМ контракты на поставку в Китай 30 единиц СТО на сумму свыше 5 млн. долл.

 

НИИТМ с 1992 г. не имел задержек в выплате зарплаты, вовремя выплачивал все налоги, оплачивал без задержек потребляемую электроэнергию, отопление, потребление воды, а также услуги по кооперации и поставке материалов. В те, достаточно непростые годы, такое положение дела в НИИ вызывало удивление и уважение.

 

В 1999 г. указами Президента РФ генеральный директор НИИТМ Дмитриев Е.В. награжден орденом Почета, начальник отделения по разработке основных видов СТО В.В. Одиноков и начальник лаборатории по разработке контрольно-измерительного оборудования Е.В. Орлов награждены медалями ордена "За заслуги перед Отечеством" II степени, главный конструктор НИИТМ Г.Х. Сатаров удостоен почетного звания "Заслуженный конструктор Российской Федерации".

 

В трудные 1990-ые годы НИИТМ сохранил свою первоначальную специализацию, а с 2000 г значительно её расширил за счет разработки и модернизации технологического оборудования не только для электронной, но и для других отраслей промышленности, например, авиационной и атомной.

 

С 2003 года в НИИТМ создаётся новое оборудование с использованием плазмостимулируемых CVD процессов, ECR и IСР разрядов в областях высоких технологий: наноэлектроники, микроэлектроники и микромеханики.

 

Сегодня НИИТМ:

 

1. Разрабатывает и изготавливает

-         экспериментальное и опытно-промышленное  технологическое оборудование для технологий микро-  и наноэлектроники, наноматериалов

-        малогабаритное  оборудование различного технологического назначения в области микро- и наноэлектроники для малосерийного производства, для  высших учебных заведений и национальных университетов  для обучения студентов, в научных центрах и организациях системы РАН.

-         Кластерное оборудование, объединяющие установки различного технологического назначения в единый производственный модуль.

2. Проводит разработку  новых видов технологического оборудования, с использованием . современных технических решений в области плазменных разрядов и  изучение его технологических возможностей.
3. Модернизирует и восстанавливает физико-термическое, вакуумное  оборудование, ранее разработанное ОАО НИИТМ.
4. Выполняет маркетинговую и рекламно-выставочную деятельность в области собственных разработок.
5. Обеспечивает сервисное обслуживание технологического оборудования, разработанного ОАО НИИТМ..