Название, авторы | Издание | |
Установка магнетронного распыления «Магна ТМ 7» в технологии создания тонкопленочных ГИС СВЧ/ Р.Каракулов, В.Одиноков, В.Панин, А.Шубников, Д.Владимиров, С.Владимиров, А.Голубцов | Научно-технический журнал «Наноиндустрия» № 2 /72 2017 | Скачать PDF |
Установка с гибридным плазменным реактором/ А.Айрапетов, Е.Кралькина, П.Неклюдова, В.Одиноков, В.Павлов, Г.Павлов, В.Сологуб | Научно-технический журнал «Наноиндустрия» № 8 /70 2016 | Скачать PDF |
Получение и физические свойства нанокомпозитов: опаловых матриц — оксидов титана/ М.Самойлович, А.Белянин, В.Одиноков, В.Бовтун, М.Кемпа, Д.Нужный, М.Савинов | Научно-технический журнал «Наноиндустрия» № 4 /66 2016 | Скачать PDF |
Геликонный источник, как элемент гибридной плазменной системы в установках для нанесения тонкопленочных покрытий с управляемой наноструктурой/ К.Вавилин, Е.Кралькина, П.Неклюдова, А.Петров, А.Никонов, В.Павлов, А.Айрапетов, В.Одиноков, Г.Павлов, В.Сологуб | Научно-технический журнал «Наноиндустрия» № 2 /64 2016 | Скачать PDF |
Исследование технологии глубокого реактивно-ионного травления на установке МВУ ТМ Плазма 06/ О.П. Гущин, А.С. Валеев, А.А. Чамов, Н.Г. Мицын, В.М. Долгополов, В.В. Одиноков, В.Э. Немировский, П.А. Иракин | Научно-технический и производственный журнал «Наноинженерия» № 10 / 2015 | Скачать PDF |