В АО «Научно-исследовательский институт точного
машиностроения» (АО НИИТМ) создано новое
структурное подразделение – отдел перспективных
разработок (ОПР). Его возглавила технический
директор, кандидат технических наук Щуренкова
Светлана Александровна. Ее задачей является
сформировать коллектив и приступить к подготовке
конструкторской и иной технической документации
на новые разработки специального технологического
оборудования. Отдел создан в мае 2021 г. и сейчас
находится в стадии формирования. План работ
нового подразделения уже утвержден руководством
компании и стал частью стратегии развития
АО НИИТМ в 2021 и 2022 гг. В основной состав
команды вошли: технический директор Щуренкова
Светлана, ведущий разработчик Комаров Николай,
инженер-конструктор 1 категории Резник Артем и
инженер-конструктор 1 категории Коробов Алексей.
В настоящее время в рамках исполнения доходных договоров
сотрудниками отдела перспективных разработок выполняются
проекты по разработке установки магнетронного нанесения
резистивных сплавов и керметов на кремниевые пластины,
установки электронно-лучевого нанесения титана и алюминия
на полупроводниковые пластины.
ОПР принимает участие в разработке конструкции
технологического оборудования газофазной эпитаксии
из металлоорганических соединений для реализации
технологических процессов эпитаксиального роста III-N
гетероструктур в рамках реализации комплексногопроекта.
С участием сотрудников нового отдела подготовлены технические
задания для исполнения в рамках государственных контрактов
комплекса НИОКР по разработке технологических модулей и
критических операций по обработке пластин: технологические
комплексы плазмо-химического осаждения и травления.