24.06.2019

ОАО НИИТМ предлагает Вашему вниманию вакуумную установку плазмохимического удаления фоторезиста и полимерных слоёв, а также вакуумную установку плазмохимического травления слоёв с ICP источником, обе установки оснащены шлюзовой камерой для загрузки — выгрузки подложек.
Указанное оборудование предназначено для работы с пластинами Ø200 мм, но может быть переоснащено для работы с пластинами Ø150 или Ø100 мм.

Установки полностью укомплектованы и готовы к реализации, также возможна передача оборудования в лизинг.

Более подробную информацию Вы можете получить по телефону: +7(499)735-1369
или по электронной почте: marketing@niitm.ru