ОАО НИИТМ получил еще два патента
21.03.2019
ОАО НИИТМ продолжает активную инновационную деятельность. Нами получено еще 2 патента:
-
Устройство для осаждения тонких пленок из газовой фазы. (1)
-
Реактор для плазмохимического травления полупроводниковых структур. (2)
