+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

ОАО НИИТМ получил еще два патента

ОАО НИИТМ получил еще два патента

21.03.2019

ОАО  НИИТМ продолжает активную инновационную деятельность. Нами получено еще 2 патента:

  1. Устройство для осаждения тонких пленок из газовой фазы. (1)

  2. Реактор для плазмохимического травления полупроводниковых структур. (2)