«ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ – 2016»

04.06.2016

ОАО НИИТМ приняло участие в 23-ей Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ – 2016», с докладом «ВЛИЯНИЕ ПЛАЗМЫ ГЕЛИКОННОГО РАЗРЯДА НА СТРУКТУРУ ТОНКИХ ПЛЁНОК ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ» (авторы: Е.А.Кралькина, П.А.Неклюдова, А.М.Никонов, В.Б.Павлов, А.А.Айрапетов, В.В.Одиноков, Г.Я.Павлов, В.А.Сологуб).