«Электроника и микроэлектроника СВЧ»

03.06.2016

ОАО НИИТМ приняло участие в пятой всероссийской научно-технической конференции «Электроника и микроэлектроника СВЧ» с докладом “Многоцелевая установка травления диэлектрических, металлических слоёв, а так же глубокого анизотропного травления кремния “МВУ ТМ ПЛАЗМА 06”” (авторы:  В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов, В.М. Долгополов, П.А. Иракин, В.Э. Немировский, А.В. Данила).