+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

ЭПИГРАН ТМ

Установка жидкофазной эпитаксии структур

эпигрантм-1

 

Назначение:

Получение эпитаксиальных- ферро-гранатовых, цилиндрических магнитных доменных (ЦМД) и других структур из жидкой фазы.

Особенности:

  • Поштучная эпитаксия на подложках Ø76, 100 мм;
  • 5 зон нагрева печи и 1 зона нагрева тигля;
  • Диапазон рабочих температур 300 — 1250° С;
  • Микропроцессорная система управления;
  • Мощность потребления не более 17 кВт;
  • Площадь, занимаемая одной установкой ~ 5 м2.

эпигрантм-2   9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF