+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

ЭПИГРАН ТМ

эпигрантм11

УСТАНОВКА ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ СТРУКТУР

ЭПИГРАН ТМ

НАЗНАЧЕНИЕ:

Получение эпитаксиальных ферро-гранатовых, цилиндрических
магнитных доменных (ЦМД) и других структур из жидкой фазы.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

  • Поштучная эпитаксия на подложках Ø76, 100 мм;
  • 5 зон нагрева печи и 1 зона нагрева тигля;
  • Диапазон рабочих температур 300-1250°С;
  • Микропроцессорная система управления;
  • Мощность потребления не более 17 кВт.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 

эпигрантм12