УСТАНОВКА ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ СТРУКТУР

ЭПИГРАН ТМ

НАЗНАЧЕНИЕ:

Получение эпитаксиальных ферро-гранатовых, цилиндрических
магнитных доменных (ЦМД) и других структур из жидкой фазы.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Поштучная эпитаксия на подложках Ø76, 100 мм;
• 5 зон нагрева печи и 1 зона нагрева тигля;
• Диапазон рабочих температур 300-1250°С;
• Микропроцессорная система управления;
• Мощность потребления не более 17 кВт.

    Скачать PDF