+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

ЭПИГРАН ТМ

Установка жидкофазной эпитаксии структур

эпигрантм-1

 

Назначение:

Получение эпитаксиальных ферро-гранатовых, цилиндрических магнитных доменных (ЦМД) и других структур из жидкой фазы.

Особенности:

  •  Поштучная эпитаксия на подложках Ø76, 100 мм;
  •  5 зон нагрева печи и 1 зона нагрева тигля;
  •  Диапазон рабочих температур 300-1250°С;
  •  Микропроцессорная система управления;
  •  Мощность потребления не более 17 кВт.

эпигрантм-2   9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF