+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

ЭЛИМ ТМ 5

элим тм 5-1

ЧЕТЫРЕХПОЗИЦИОННАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА
НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
И ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ИСПАРЕНИЯ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ

ЭЛИМ ТМ 5

элим тм 5-23

ОСОБЕННОСТИ

  • Групповая обработка подложек в одном технологическом цикле:
    Ø 76мм – 15 шт.; Ø 100мм – 9 шт.; Ø 150мм – 3 шт.;
  • Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек (Позиция 1);
  • Система переноса подложек из шлюзовой камеры в две рабочие позиции (2,3) транспортной каруселью;
  • Система магнетронного распыления (Позиция 4);
  • Четырехтигельный электронно-лучевой испаритель (Позиция 3);
  • Предварительный нагрев подложек и их очистка с помощью источника ионов (Позиция 2);
  • Безмасляная система откачки;
  • Мощность потребления не более 20 кВт.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 

 

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение металлических, диэлектрических или резистивных тонких пленок на подложки (пластины)
методом магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения.

элим тм 5-4