АО НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ
ЭЛИМ ТМ 5
ЧЕТЫРЕХПОЗИЦИОННАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
И ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ИСПАРЕНИЯ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ
ЭЛИМ ТМ 5
НАЗНАЧЕНИЕ
Нанесение металлических, диэлектрических или резистивных тонких пленок на подложки (пластины)
методом магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения.