Система магнетронного распыления
Назначение:
Мультикатодное распылительное устройство со стендом питания и управления МРУ предназначено для последовательного нанесения покрытий трёх различных материалов на кремниевые пластины магнетронным методом.
Особенности:
- Количество последовательно работающих магнетронов – 3 шт.;
- Рабочая мощность каждого магнетрона в пределах от 100 Вт до 2000 Вт;
- Возможность очистки рабочей поверхности мишени каждого магнетрона («тренировки») при закрытой заслонке;
- Работоспособность при отклонениях напряжения питающей сети на ±10 % от номинального значения;
- Максимальная электрическая мощность составляет не более 3 кВт;
- Масса – 61,5 кг.
