+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

СМР 01

Система магнетронного распыления

смр01-1

Назначение:

Мультикатодное распылительное устройство со стендом питания и управления МРУ предназначено для последовательного нанесения покрытий трёх различных материалов на кремниевые пластины магнетронным методом.

Особенности:

  • Количество последовательно работающих магнетронов – 3 шт.;
  • Рабочая мощность каждого магнетрона в пределах от 100 Вт до 2000 Вт;
  • Возможность очистки рабочей поверхности мишени каждого магнетрона («тренировки») при закрытой заслонке;
  • Работоспособность при отклонениях напряжения питающей сети на ±10 % от номинального значения;
  • Максимальная электрическая мощность составляет не более 3 кВт;
  • Масса – 61,5 кг.

смр01-2

 

9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF