МАЛОГАБАРИТНАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОЧИСТКИ, УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА И СТЕРИЛИЗАЦИИ

ПЛАЗМА ТМ 4

НАЗНАЧЕНИЕ

Назначение: Плазмохимическое удаление фоторезиста и очистка органических примесей на пластинах, а также стерилизация медицинских, в том числе термолабильных инструментов.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Групповая обработка 20 пластин Ø 100, 150 мм, размещенных в кварцевой лодочке;
• Стерилизация медицинских инструментов, приспособлений, ёмкостей, посуды и т.д.;
• Рабочие газы: O₂, N₂;
• Поддержание стабильного ВЧ разряда в диапазоне рабочих давлений 10-100Па;
• Микропроцессорная система управления;
• Форвакуумная система откачки;
• Мощность потребления не более 4,5 кВт;
• Возможность встраивания в чистую комнату.

  скачать pdf