+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

ПЛАЗМА ТМ 4

мву тм плазма ф1

МАЛОГАБАРИТНАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОЧИСТКИ, УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА И СТЕРИЛИЗАЦИИ

ПЛАЗМА ТМ 4

НАЗНАЧЕНИЕ

Назначение: Плазмохимическое удаление фоторезиста и очистка органических примесей на пластинах, а также стерилизация медицинских, в том числе термолабильных инструментов.

мву тм плазма ф2

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

  • Групповая обработка 20 пластин Ø 100, 150 мм, размещенных в кварцевой лодочке;
  • Стерилизация медицинских инструментов, приспособлений, ёмкостей, посуды и т.д.;
  • Рабочие газы: O₂, N₂;
  • Поддержание стабильного ВЧ разряда в диапазоне рабочих давлений 10-100Па;
  • Микропроцессорная система управления;
  • Форвакуумная система откачки;
  • Мощность потребления не более 4,5 кВт;
  • Возможность встраивания в чистую комнату.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

мву тм плазма ф3