Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки пластин в кассете;
Транспортная система переноса пластин из шлюзовой камеры в реактор на основе манипулятора;
Источник ICP плазмы с цилиндрическим индуктором для формирования высокоплотной плазмы;
Стол для травления с поддержанием температуры в диапазоне температур
-30 …+100°C, с подачей гелия под пластину, с механическим устройством
прижима и подачей ВЧ-напряжения смещения;
Система прогрева стенок реактора, изготовленного из алюминиевого сплава,
до температуры +60°С посредством встроенных нагревателей;
Скорость травления SiO2, нм/цикл, 0,1…1, Si, нм/цикл, 0,1…1;