ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ СЛОЕВ С ICP ИСТОЧНИКОМ 

ПЛАЗМА ТМ 200-02

 НАЗНАЧЕНИЕ

Глубокое плазмохимическое анизотропное травление
кремния в производстве МЭМС, НЭМС, сборок 2,5D и 3D, а так же сквозных высокоаспектных отверстий и др. на базе Bosch-процесса.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
• Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
• Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
• Нагрев стенки реактора до 60°С;
• Гелиевое охлаждение и механический прижим пластин;
• Рабочие газы: Ar, SF₆, O₂, C₄F₈, He.;
• Скорость анизотропного травления кремния не менее 5 мкм/мин;
• Попеременная подача газа с программируемым временем цикла;
• Мощность потребления не более 19 кВт;
• Безмасляная система откачки;
• Возможность встраивания в чистую комнату.

  скачать pdf