Новости
-
18.01.2023
Кластер ТМ 150
Одной из последних разработок АО НИИТМ стала кластерная установка магнетронного нанесения металлов с индивидуальной обработки пластин диаметром 150-200 мм по принципу «из-кассеты-в-кассету» с четырьмя технологическими модулями магнетронного распыления с возможностью ВЧ смещения пластин и формирования заданного магнитного поля с использованием двух внешних электромагнитных катушек. Кластерная система предназначена для конформного нанесения в едином вакуумном цикле многослойных металлических пленок на высокоаспектные структуры,
-
08.08.2022
60 ЛЕТ В ИСТОРИИ РАЗВИТИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ!
Сегодня старейшему предприятию Зеленограда исполняется 60 лет! В начале 1960-х годов в СССР возникла необходимость создания машиностроительного производства для электронной промышленности. В числе первых предприятий Научного центра микроэлектроники в Зеленограде 8 августа 1962 года Постановлением ЦК КПСС и СМ СССР № 831-358 был организован НИИ-350 с опытным заводом, впоследствии – Научно-исследовательский институт точного машиностроения. 60 лет НИИТМ – это не