ОТЖИГ ТМ-6

Малогабаритная установка термической обработки пластин и материалов в газовой среде

Назначение:

Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов в газовой среде (отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление кристаллических структур) при нормальном давлении.

Особенности:

• Кварцевый реактор с герметизируемой рабочей зоной;
• Диапазон рабочих температур 300-1100° С;
• Рабочие газы: Ar, H₂, N₂;
• Микропроцессорная система управления;
• Мощность потребления не более 5 кВт;
• Возможность встраивания в «чистую» комнату;
• Площадь, занимаемая одной установкой ~ 1,5 м².

  Скачать PDF