МАЛОГАБАРИТНАЯ УСТАНОВКА ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ
ПЛАСТИН И МАТЕРИАЛОВ В ГАЗОВОЙ СРЕДЕ

ОТЖИГ ТМ 6

НАЗНАЧЕНИЕ:

Автоматизированная термическая обработка
пластин и материалов в газовой среде (отжиг, сушка, разгонка
диффузанта, восстановление кристаллических структур) при
нормальном давлении.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Кварцевый реактор с термостатируемой рабочей
  зоной 150 мм;
• Диапазон рабочих температур 300-1100°С;
• Рабочие газы: Ar, H₂, N₂;
• Микропроцессорная система управления;
• Мощность потребления не более 5 кВт;
• Возможность встраивания в чистую комнату.

  скачать pdf