+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

ОТЖИГ ТМ-6

Малогабаритная установка термической обработки пластин и материалов в газовой среде

отжигтм-6_1

Назначение:

Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов в газовой среде (отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление кристаллических структур) при нормальном давлении.

Особенности:

  • Кварцевый реактор с герметизируемой рабочей зоной;
  • Диапазон рабочих температур 300-1100° С;
  • Рабочие газы: Ar, H2, N2;
  • Микропроцессорная система управления;
  • Мощность потребления не более 5 кВт;
  • Возможность встраивания в «чистую» комнату;
  • Площадь, занимаемая одной установкой ~ 1,5 м2.

отжигтм-6_3 отжигтм-6_2

9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF