МАЛОГАБАРИТНАЯ УСТАНОВКА ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ
ПЛАСТИН И МАТЕРИАЛОВ В ГАЗОВОЙ СРЕДЕ

ОТЖИГ ТМ 4

НАЗНАЧЕНИЕ:

Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов
(отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление кристаллических структур и др.)
при нормальном давлении в восстановительной или нейтральной среде.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Групповая обработка 120 пластин до Ø 100 мм;
• Кварцевый реактор с термостатируемой рабочей
  зоной 700 мм;
• Диапазон рабочих температур 300-1100°С;
• Рабочие газы: Ar, H₂, N₂;
• Микропроцессорная система управления;
• Мощность потребления не более 15 кВт;
• Возможность встраивания в чистую комнату.

  скачать pdf