МАЛОГАБАРИТНАЯ УСТАНОВКА ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ
ПЛАСТИН И МАТЕРИАЛОВ В ГАЗОВОЙ СРЕДЕ

ОТЖИГ ТМ 4М

НАЗНАЧЕНИЕ:

Автоматизированная термическая обработка пластин и
материалов (отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление
кристаллических структур и др.) при нормальном давлении в окислительной
или нейтральной среде.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Групповая обработка 120 пластин до Ø 100 мм;
• Кварцевый реактор с термостатируемой рабочей
  зоной 700 мм;
• Диапазон рабочих температур 300-1100°С;
• Рабочие газы: Ar, О₂, N₂;
• Микропроцессорная система управления;
• Мощность потребления не более 15 кВт;
• Возможность встраивания в чистую комнату.

    Скачать PDF