+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

ОТЖИГ ТМ-4М

Малогабаритная установка термической обработки пластин и материалов в газовой среде

отжигтм-4м_1

Назначение:

Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов (отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление кристаллических структур и др.) при нормальном давлении в восстановительной или нейтральной среде.

Особенности:

  • Групповая обработка до 120 пластин до Ø 100 мм;
  • Кварцевый реактор с герметизируемой рабочей зоной 700 мм;
  • Диапазон рабочих температур 300-1100° С;
  • Рабочие газы: Ar, О2, N2;
  • Микропроцессорная система управления;
  • Мощность потребления не более 15 кВт;
  • Возможность встраивания в «чистую» комнату;
  • Площадь, занимаемая одной установкой ~ 3 м2.

  отжигтм-4м_2     

9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF