+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

ОТЖИГ ТМ-4М

отжигтм4м1

МАЛОГАБАРИТНАЯ УСТАНОВКА ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ
ПЛАСТИН И МАТЕРИАЛОВ В ГАЗОВОЙ СРЕДЕ

ОТЖИГ ТМ 4М

НАЗНАЧЕНИЕ:

Автоматизированная термическая обработка пластин и
материалов (отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление
кристаллических структур и др.) при нормальном давлении в окислительной
или нейтральной среде.

отжигтм4м2

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

  • Групповая обработка 120 пластин до Ø 100 мм;
  • Кварцевый реактор с термостатируемой рабочей
    зоной 700 мм;
  • Диапазон рабочих температур 300-1100°С;
  • Рабочие газы: Ar, О₂, N₂;
  • Микропроцессорная система управления;
  • Мощность потребления не более 15 кВт;
  • Возможность встраивания в чистую комнату.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 

отжигтм4м3