ОТЖИГ ТМ-4М

Малогабаритная установка термической обработки пластин и материалов в газовой среде

Назначение:

Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов (отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление кристаллических структур и др.) при нормальном давлении в восстановительной или нейтральной среде.

Особенности:

• Групповая обработка до 120 пластин до Ø 100 мм;
• Кварцевый реактор с герметизируемой рабочей зоной 700 мм;
• Диапазон рабочих температур 300-1100° С;
• Рабочие газы: Ar, О₂, N₂;
• Микропроцессорная система управления;
• Мощность потребления не более 15 кВт;
• Возможность встраивания в «чистую» комнату;
• Площадь, занимаемая одной установкой ~ 3 м².

  Скачать PDF