АО НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ
ОКСИД ТМ-1
МАЛОГАБАРИТНАЯ УСТАНОВКА ПРОЦЕССОВ ДИФФУЗИИ, ОКСИЛЕНИЯ, ОТЖИГА ПОДЛОЖЕК И МАТЕРИАЛОВ ПРИ НОРМАЛЬНОМ ДАВЛЕНИИ
ОКСИД ТМ 1
НАЗНАЧЕНИЕ:
Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов в газовой среде (оксидирование, отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление кристаллических структур) при нормальном давлении.
ОСОБЕННОСТИ
СХЕМА УСТАНОВКИ
Групповая обработка 120 пластин до Ø 100 мм;
Кварцевый реактор с термостатируемой рабочей зоной;