Разработка и производство научного и опытно-промышленного технологического оборудования
Вакуумно-плазменное оборудование
Физико-термическое оборудование
Нанесение пленок
Cухая обработка поверхности в плазме ВЧ разряда
Осаждение пленок из газовой среды в плазме ВЧ разряда
Газотермическая групповая обработка при 300-2100 °С
Выращивание монокристал- лических структур (Эпитаксия)
Прецизионная очистка материалов методом ректификации
