УСТАНОВКА ПОЛУЧЕНИЯ ОСОБО ЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ
И СИНТЕЗА НАНОПОРОШКОВ В ВАКУУМЕ

МОНООКСИД

НАЗНАЧЕНИЕ:

Осаждение сверхтолстых поликристаллических слоев кремния из
твердого источника на монокристаллические подложки кремния или сапфира.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Вращающийся плазменный реактор диаметром 130 мм;
• Высокочастотный нагрев до 2100°С;
• Система наклона и вращения реактора;
• Безмасляная система откачки;
• Микропроцессорная система управления;
• Мощность потребления 30-160 кВт;
• Четырехканальная система подачи химических реактивов;
• Система продувки и удаления реакционных продуктов в
  скруббер.

  скачать pdf