+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

МОНООКСИД

монооксид1

УСТАНОВКА ПОЛУЧЕНИЯ ОСОБО ЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ
И СИНТЕЗА НАНОПОРОШКОВ В ВАКУУМЕ

МОНООКСИД

НАЗНАЧЕНИЕ:

Осаждение сверхтолстых поликристаллических слоев кремния из
твердого источника на монокристаллические подложки кремния или сапфира.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

  • Вращающийся плазменный реактор диаметром 130 мм;
  • Высокочастотный нагрев до 2100°С;
  • Система наклона и вращения реактора;
  • Безмасляная система откачки;
  • Микропроцессорная система управления;
  • Мощность потребления 30-160 кВт;
  • Четырехканальная система подачи химических реактивов;
  • Система продувки и удаления реакционных продуктов в
    скруббер.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 

монооксид2