Малогабаритная вакуумная установка нанесения плёнок методом термического испарения
Назначение:
Нанесение плёнок методом термического испарения.
Особенности:
- Обработка подложек в одном технологическом цикле (односторонняя обработка): 60 х 48 мм – 6 шт.;
- Микропроцессорная система управления;
- Безмасляная система откачки (агрегат с ТМН300);
- Мощность потребления не более 4,5 кВт;
- Площадь, занимаемая одной установкой ~ 2,5 м2.
Скачать PDF