Малогабаритная вакуумная установка плазмохимической очистки, удаления фоторезиста и стерилизации
Назначение:
Удаление фоторезиста и очистка органических примесей на пластинах, а также стерилизация медицинских, в том числе термолабильных инструментов и материалов.
Особенности:
- Групповая обработка 20 пластин Ø 100, 150 мм, размещенных в кварцевой лодочке;
- Стерилизация медицинских инструментов, приспособлений, ёмкостей, посуды и т.д.;
- Рабочие газы: О2, N2;
- Поддержание стабильного ВЧ разряда в диапазоне рабочих давлений 10-100 Па;
- Микропроцессорная система управления;
- Форвакуумная система откачки;
- Мощность потребления не более 4,5 кВт;
- Площадь, занимаемая одной установкой ~ 2,5 м2.
Скачать PDF