МВУ ТМ ОТЖИГ

Малогабаритная установка термического отжига

Назначение:

Термический отжиг и сушка материалов, слоёв и структур.

Особенности:

• Рабочая поверхность стола Ø180 мм;
• Микропроцессорная система управления;
• Безмасляная система откачки (агрегат с ТМН60);
• Нагрев подложек до 400° С;
• Мощность потребления не более 4,5 кВт;
• Площадь, занимаемая одной установкой ~ 2,5 м².

  Скачать PDF