+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

МВУ ТМ МАГНА 11, 12

мву тм магна 7_1

МАЛОГАБАРИТНАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК
МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА НА ПОДЛОЖКУ

МВУ ТМ МАГНА 11, 12

мву тм магна 11,12_2

ОСОБЕННОСТИ

  • Тип и количество МРУ в установке:
    Магна 11, постоянного тока – 2 шт.;
    Магна 12, постоянного тока – 1шт., ВЧ – 1 шт.;
  • Групповая обработка подложек в одном технологическом цикле
    (односторонняя обработка): Ø100 мм – 4 шт., Ø150 мм – 2 шт.;
    (двусторонняя обработка): 60х48 – 6 шт.;
  • Периодический поворот подложкодержателя на 90°;
  • Количество ионных источников – 1 шт.;
  • Микропроцессорная система управления;
  • Безмасляная система откачки;
  • Мощность потребления не более 4,5 кВТ.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение пленок металлов и диэлектриков на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

 

мву тм магна 11,12_3