МАЛОГАБАРИТНАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА НА ПОДЛОЖКУ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ

МВУ ТМ МАГНА 10

НАЗНАЧЕНИЕ

Двустороннее нанесение многокомпонентных и
многослойных тонких плёнок металлов и диэлектриков на подложки
(пластины) методом магнетронного распыления.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Индивидуальная односторонняя обработка подложек
  Ø 100, 150, 200 мм или 5 шт. 60х48 мм;
• Шлюзовая камера для загрузки/выгрузки подложек;
• Предварительный нагрев подложек и их очистка с помощью источника ионов;
• Транспортная система переноса подложек из шлюзовой камеры в рабочую камеру на основе механизмов горизонтального перемещения;
• Два мультикатодных МРУ с четырьмя дисковыми мишенями Ø 100 мм;
• Нанесение металлических слоев в режиме постоянного тока;
• Нанесение диэлектрических слоев в ВЧ режиме;
• Возможность встраивания в чистую комнату;
• Мощность потребления не более 14 кВт;
• Безмасляная система откачки.

  скачать pdf