+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

МВУ ТМ МАГНА 10

мву тм магна 9_1

МАЛОГАБАРИТНАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА НА ПОДЛОЖКУ
СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ

МВУ ТМ МАГНА 10

мву тм магна 10_2

ОСОБЕННОСТИ

  • Индивидуальная односторонняя обработка подложек
    Ø 100, 150, 200 мм или 5 шт. 60х48 мм;
  • Шлюзовая камера для загрузки/выгрузки подложек;
  • Предварительный нагрев подложек и их очистка с помощью
    источника ионов;
  • Транспортная система переноса подложек из шлюзовой камеры в рабочую камеру на основе механизмов горизонтального перемещения;
  • Два мультикатодных МРУ с четырьмя дисковыми мишенями Ø 100 мм;
  • Нанесение металлических слоев в режиме постоянного тока;
  • Нанесение диэлектрических слоев в ВЧ режиме;
  • Возможность встраивания в чистую комнату;
  • Мощность потребления не более 14 кВт;
  • Безмасляная система откачки.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 

 

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Двустороннее нанесение многокомпонентных и
многослойных тонких плёнок металлов и диэлектриков на подложки
(пластины) методом магнетронного распыления.

мву тм магна 10_3