МАЛОГАБАРИТНАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК
МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
МАТЕРИАЛА НА ПОДЛОЖКУ

МВУ ТМ МАГНА 07, 08

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение пленок металлов и резистивных материалов на подложки (пластины)
методом магнетронного распыления.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Тип и количество МРУ в установке:
  Магна 07, постоянного тока – 3 шт.;
  Магна 08, постоянного тока – 2шт., ВЧ – 1 шт.;
• Групповая обработка подложек в одном технологическом цикле
  (односторонняя обработка):Ø100 мм – 4 шт., Ø150 мм – 2 шт.;
  (двусторонняя обработка):60х48 – 6 шт.;
• Микропроцессорная система управления;
• Безмасляная система откачки;
• Мощность потребления не более 4,5 кВт.

  скачать pdf