+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

МВУ ТМ ИЗОФАЗ 01

Малогабаритная вакуумная установка плазмохимического осаждения плёнок из газовой фазы с диодной системой

изофаз01-1

Назначение:

Осаждение диэлектрических материалов из газовой фазы с плазменной активацией в ВЧ разряде.

Особенности:

  • Рабочая поверхность стола Ø180 мм;
  • Регулирование и автоматическое поддержание уровня мощности ВЧ в диапазоне 30-200 Вт;
  • Нагрев подложек до 400° С;
  • Микропроцессорная система управления;
  • Форвакуумная система откачки;
  • Мощность потребления не более 3 кВт;
  • Площадь, занимаемая одной установкой ~ 2,5 м2.

изофаз01-3 изофаз01-2  

9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF