+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

МАГНА ТМ 7

магна тм 7-1

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК
МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

МАГНА ТМ 7

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение пленок металлов, резистивных материалов и диэлектриков на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

магна тм 7-2

ОСОБЕННОСТИ

 СХЕМА УСТАНОВКИ

  • Групповая обработка подложек или пластин в одном технологическом цикле: 60х48мм, Ø 76мм, Ø 100мм, Ø 150мм;
  • Количество МРУ в установке – 2 шт.;
  • Нагрев подложек до 300° С (контроль в процессе);
  • Контроль толщины резистивной пленки по сопротивлению в процессе;
  • Количество ионных источников – 1 шт.;
  • Безмасляная система откачки;
  • Микропроцессорная система управления;
  • Мощность потребления не более 9 кВт.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 магна тм 7-4