+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

МАГНА ТМ 5

магна тм 5-1

ЧЕТЫРЕХПОЗИЦИОННАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА
НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ

МАГНА ТМ 5

магна тм 5-23

ОСОБЕННОСТИ

  • Групповая обработка подложек в одном технологическом цикле:
    Ø 76мм – 15 шт.; Ø 100мм – 9 шт.; Ø 150мм – 3 шт.;
  • Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек (Позиция 1);
  • Система переноса подложек из шлюзовой камеры в три рабочие позиции (2,3,4) транспортной каруселью;
  • Мультикатодное МРУ с тремя мишенями Ø100мм (Позиция 3,4);
  • Предварительный нагрев подложек и их очистка с помощью источника ионов (Позиция 2);
  • Безмасляная система откачки;
  • Мощность потребления не более 20 кВт.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

 

магна тм 5-4