ЧЕТЫРЕХПОЗИЦИОННАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА
НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ

МАГНА ТМ 5

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Групповая обработка подложек в одном технологическом цикле:
  Ø 76мм – 15 шт.; Ø 100мм – 9 шт.; Ø 150мм – 3 шт.;
• Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек (Позиция 1);
• Система переноса подложек из шлюзовой камеры в три рабочие позиции (2,3,4) транспортной каруселью;
• Мультикатодное МРУ с тремя мишенями Ø100мм (Позиция 3,4);
• Предварительный нагрев подложек и их очистка с помощью источника ионов (Позиция 2);
• Безмасляная система откачки;
• Мощность потребления не более 20 кВт.

  скачать pdf