МАГНА ТМ 300

НАЗНАЧЕНИЕ:

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

Обработка пластин в одном технологическом цикле:
60х48 мм — 19 шт., Ø 76 мм — 13 шт., Ø 100 мм — 7 шт.,
Ø 150 мм — 3 шт., Ø 200 мм — 1 шт., Ø 300 мм — 1 шт.;
Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек на носителе
из кассеты в кассету;
Транспортная система переноса пластин на носителе из шлюзовой камеры
в рабочую камеру на основе манипулятора;
Нагреваемый ВЧ столик;
Мультикатодное МРУ с тремя мишенями Ø 150 мм;
Нанесение из трех магнетронов одной пленки или последовательное нанесение двух-, трехслойных пленок с использованием заслонки;
Безмасляная система откачки;
Мощность потребления не более 16 кВт;
Возможность встраивания в чистую комнату.