+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

МАГНА ТМ 300

магна тм 300-1

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК
МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ

МАГНА ТМ 300

НАЗНАЧЕНИЕ:

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

тм300-пластины

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

  • Обработка пластин в одном технологическом цикле:
    60х48 мм — 19 шт., Ø 76 мм — 13 шт., Ø 100 мм — 7 шт.,
    Ø 150 мм — 3 шт., Ø 200 мм — 1 шт., Ø 300 мм — 1 шт.;
  • Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек на носителе
    из кассеты в кассету;
  • Транспортная система переноса пластин на носителе из шлюзовой камеры
    в рабочую камеру на основе манипулятора;
  • Нагреваемый ВЧ столик;
  • Мультикатодное МРУ с тремя мишенями Ø 150 мм;
  • Нанесение из трех магнетронов одной пленки или последовательное нанесение двух-, трехслойных пленок с использованием заслонки;
  • Безмасляная система откачки;
  • Мощность потребления не более 16 кВт;
  • Возможность встраивания в чистую комнату.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 

магна тм 300-3