+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

МАГНА ТМ 29

магна тм 29-1

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ ИЗ КАССЕТЫ В КАССЕТУ

МАГНА ТМ 29

магна тм 29-23

ОСОБЕННОСТИ

  • Групповая обработка подложек: 60х48, Ø76мм, Ø 100мм, Ø150мм;
  • Две шлюзовые камеры для загрузки – выгрузки подложек из кассеты в кассету;
  • Конвейерная система непрерывного транспортирования подложек;
  • Предварительный нагрев подложек ламповым нагревателем и их очистка источником ионов;
  • Безмасляная система откачки;
  • Мощность потребления не более 25 кВт.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.магна тм 29-4