ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК
МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ ИЗ КАССЕТЫ В КАССЕТУ

МАГНА ТМ 29

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Групповая обработка подложек: Ø76мм, Ø 100мм, Ø150мм;
• Две шлюзовые камеры для загрузки – выгрузки подложек из кассеты в кассету;
• Конвейерная система непрерывного транспортирования подложек;
• Предварительный нагрев подложек ламповым нагревателем и их очистка источником ионов;
• Безмасляная система откачки;
• Мощность потребления не более 25 кВт.

  скачать pdf