ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ

МАГНА ТМ 22

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

ОСОБЕННОСТИ

 ОСОБЕННОСТИ

• Индивидуальная или групповая обработка подложек или пластин на планетарном подложкодержателе в одном технологическом цикле: 60х48, Ø76мм, Ø100мм, Ø150мм;
• Мультикатодное МРУ с четырьмя мишенями Ø76мм;
• Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек;
• Планетарный двухстепенной подложкодержатель;
• Предварительный нагрев подложек и их очистка с помощью источника ионов в шлюзовой камере;
• Нанесение пленок в рабочей камере одним, двумя, тремя, четырьмя магнетронами;
• Безмасляная система откачки;
• Мощность потребления не более 20 кВт;
• Возможность встраивания в чистую комнату.

  скачать pdf