+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

МАГНА ТМ 22

магна тм 22-1

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ

МАГНА ТМ 22

магна тм 22-23

ОСОБЕННОСТИ

  • Групповая обработка подложек: 60х48, Ø76мм или Ø100мм;
  • Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек;
  • Планетарный двухстепенной подложкодержатель;
  • Предварительный нагрев подложек и их очистка с помощью источника ионов в шлюзовой камере;
  • Нанесение пленок в рабочей камере одним, двумя, тремя, четырьмя магнетронами;
  • Безмасляная система откачки;
  • Мощность потребления не более 20 кВт;
  • Возможность встраивания в чистую комнату.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 

 

 

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

магна тм 22-4