АО НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ
МАГНА ТМ 22
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ
МАГНА ТМ 22
НАЗНАЧЕНИЕ
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.
ОСОБЕННОСТИ
ОСОБЕННОСТИ
Индивидуальная или групповая обработка подложек или пластин на планетарном подложкодержателе в одном технологическом цикле: 60х48, Ø76мм, Ø100мм, Ø150мм;
Мультикатодное МРУ с четырьмя мишенями Ø76мм;
Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек;
Планетарный двухстепенной подложкодержатель;
Предварительный нагрев подложек и их очистка с помощью источника ионов в шлюзовой камере;
Нанесение пленок в рабочей камере одним, двумя, тремя, четырьмя магнетронами;