+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG
escorts who are also pornstars petite african

МАГНА ТМ 200-01

Вакуумная установка нанесения плёнок методом магнетронного распыления со шлюзовой загрузкой

 

магна 200-01-1

Назначение:

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

Особенности:

  • Индивидуальная и групповая обработка подложек в одном технологическом цикле: 60х48мм – 7 шт; Ø 76мм – 4 шт; 156х156мм – 1 шт; Ø 50 мм – 11 шт; Ø 100мм – 2 шт; Ø 150, 200мм – 1 шт.
  • Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек;
  • Транспортная система переноса подложек из шлюзовой камеры в рабочую камеру на основе манипулятора;
  • Размещение источника ионной очистки подложек вместо третьего магнетрона;
  • Планарное МРУ с мишенью Ø280мм или мультикатодное МРУ с тремя мишенями Ø100мм;
  • Скоростное нанесение из трех магнетронов одной пленки или последовательное нанесение двух-, трехслойных пленок с использованием заслонки;
  • Безмасляная (сухая) откачка на базе форвакуумного и турбомолекулярного насосов;
  • Микропроцессорная система управления;
  • Мощность потребления не более 16 кВт;
  • Возможность встраивания в чистую комнату;
  • Площадь, занимаемая одной установкой ~ 5 м2.

магна 200-01-3

магна 200-01-2

 

 

 

 

 

 

 

9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF