ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК
МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

МАГНА ТМ 200-01

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
• Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
• Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
• ВЧ рабочий стол с вертикальным перемещением, поддержкой температуры до +450°, с подачей аргона под пластину и прижимом;
• МРУ с одной мишенью Ø300мм или Мультикатодное МРУ с тремя мишенями Ø125мм;
• Нанесение из трех магнетронов одной пленки или последовательное нанесение двух,трехслойных пленок с использованием заслонки;
• Безмасляная система откачки;
• Мощность потребления не более 16 кВт;
• Возможность встраивания в чистую комнату;
• Может входить в кластерный комплекс.

  скачать pdf