+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

МАГНА ТМ 200-01К

магнатм200-01к

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК
МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ ИЗ КАССЕТЫ В КАССЕТУ

МАГНА ТМ 200-01К

НАЗНАЧЕНИЕ

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки (пластины) методом магнетронного распыления.

магнатм200-01к_23

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

  • Индивидуальная обработка подложек в одном технологическом цикле: Ø 76мм, Ø 100мм, Ø 150мм, Ø 200мм – 1 шт.;
  • Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек из кассеты в кассету;
  • Транспортная система переноса подложек из шлюзовой камеры в рабочую камеру на основе манипулятора;
  • ВЧ рабочий стол с вертикальным перемещением, поддержкой температуры до +450°, с подачей аргона под пластину и прижимом;
  • МРУ с одной мишенью Ø300мм или Мультикатодное МРУ с тремя мишенями Ø125мм;
  • Нанесение из трех магнетронов одной пленки или последовательное нанесение двух,трехслойных пленок с использованием заслонки;
  • Безмасляная система откачки;
  • Мощность потребления не более 16 кВт;
  • Возможность встраивания в чистую комнату;
  • Может входить в кластерный комплекс.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

магнатм200-01к_4