Вакуумная установка нанесения плёнок методом магнетронного распыления на рулонный материал
Назначение:
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических тонких плёнок на рулонный материал методом магнетронного распыления.
Особенности:
- Несколько магнетронных распылительных систем (2-4 шт.);
- Нанесение плёнки на обе стороны рулонного материала шириной от 60 до 150 мм в одном технологическом цикле;
- Предварительный нагрев подложек с помощью нагревателей и очистка с помощью источников ионов;
- Безмасляная (сухая) откачка на базе форвакуумного и турбомолекулярного насосов;
- Микропроцессорная система управления;
- Мощность потребления не более 20 кВт;
- Площадь, занимаемая одной установкой ~ 6 м2.
Скачать PDF